Thermostat à circulation et de process LAUDA SEMISTAT

Thermostat à circulation et de process LAUDA SEMISTAT

Thermostat à circulation et de process LAUDA SEMISTAT :

Reposant sur le principe de la thermorégulation des éléments Peltier, les systèmes thermoélectriques de régulation de la température LAUDA Semistat permettent une régulation de température reproductible pour les applications de gravure au plasma.

Grâce à la régulation de température dynamique du support de tranche électrostatique (ESC), les appareils peuvent être utilisés avec tous types de processus de gravure.

D’une grande efficacité énergétique, peu encombrants et offrant une régulation stable de la température – sur une plage allant de -20°C à 90°C – , ils s’avèrent parfaits, grâce à ces systèmes perfectionnés, pour la fabrication de composants toujours plus petits.

Caractéristiques :

  • Système sans compresseur ni fluide frigorigène à faible consommation d’énergie
  • Plus faible encombrement du secteur, idéal pour une installation sous plancher
  • Volume très faible de liquide caloporteur
  • Puissance frigorifique de 1.2 kW à 4.4 kW
  • Puissance de chauffage de 3 kW à 12 kW

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